A mikroelektronikai tisztatér egy speciális gyártási környezet, amely biztosítja a termékek minőségét és hatékonyságát a mikroelektronikai iparban. Ebben a projektben számos tényezőt figyelembe kell venni, mint például a levegő tisztítása, a hőmérséklet, a páratartalom, az elektrosztatikus és a zajszabályozás stb.
A mikroelektronikai tisztatéri alkalmazási ágazatok különböző osztályai:
1.Integrált áramkör gyártás
- ISO 1 - 3: gyakran használják a legfejlettebb fotomaratási, maratási és egyéb folyamatokban, amelyek rendkívül magas szintű ellenőrzést igényelnek az apró részecskék ellen, és az enyhe szennyeződés chiphibákhoz vezethet.
- ISO 4 - 5: Alkalmas vékonyréteg-leválasztásra, ionimplantációra és a chipgyártás egyéb folyamataira, és szigorú részecskeszabályozási követelményekkel is rendelkezik.
2.Félvezető tokozási teszt
- ISO 6 - 7: Meg tudja felelni a legtöbb csomagolási teszt link követelményeinek, mint például a chipcsomagolás, a funkcionális teszt stb.
3. Panel kijelző gyártás
- ISO 5 - 6: Az LCD-panelek gyártásánál használt bevonatokhoz és expozíciókhoz.
4. Elektronikai alkatrészek gyártása
- ISO 7 - 8: viszonylag alacsony környezetvédelmi követelményeket támasztó elektronikai alkatrészek gyártására használják, mint például ellenállások, kondenzátorok stb.
Röviden: minél magasabb a tisztatér osztálya, annál kevesebb a lebegő részecskék száma a levegőben szabályozható, annál tisztább a környezet, és annál alkalmasabb a rendkívül szigorú gyártási környezetet igénylő mikroelektronikai gyártási folyamatokra. Az alacsonyabb osztályú tisztatér azonban alkalmas olyan gyártási folyamatokra, amelyek viszonylag laza környezetet igényelnek.
A mikroelektronikai tisztatér légtisztító rendszerének főbb eszközei:
1.Légszűrő
- Elsődleges hatékonyságú szűrő: elsősorban nagyobb részecskék, például por, haj stb. szűrésére szolgál, hogy előzetes szerepet töltsön be a levegő tisztításában.
- Közepes hatásfokú szűrők: kiszűrik a közepes méretű szennyező részecskéket és tovább javítják a levegő tisztaságát.
- HEPA szűrő: a kulcsfontosságú eszköz a nagy tisztaság eléréséhez, amely nagy szűrési hatékonysággal rendelkezik a 0,3 mikron feletti részecskék esetében
- Ultra-nagy hatásfokú szűrő (ULPA szűrő): 0.1 - 0.3 mikronos részecskéknél szűrési hatékonysága 99,999% feletti is lehet, és gyakran használják olyan helyeken, ahol rendkívül magas a tisztasági követelmény.
2. Ventilátor
- Felelős a légáramlás irányításáért, a levegő átáramlásáért a szűrőn és a tisztatérben való keringéséért.
3.Csatorna
-Szűrt levegő szállítására szolgál, hogy biztosítsa a levegő egyenletes elosztását a tisztatér minden területén.
4. Friss levegő kezelő egység
- friss levegőt bevezetni a szabadba, szűrni, beállítani a hőmérsékletet és a páratartalmat a tisztatér igényeinek megfelelően.
5. Levegőtisztító egység
- Különféle tisztítási és kondicionálási funkciók integrálása, például szűrés, sterilizálás, párátlanítás, párásítás és így tovább.
6. Statikus nyomáskamra
-stabilizálja a légáramlást, csökkenti a légáramlás turbulenciáját és zaját, valamint egyenletes légáramlást biztosít a szűrőkön keresztül.
7. Hangtompító
- Csökkentse a ventilátorok és a légáramlás által keltett zajt, csendes munkakörnyezetet biztosítva
8. Nyomáskülönbség-érzékelők és vezérlők
- Figyelje a nyomáskülönbséget a tisztatér különböző területei között annak biztosítására, hogy a levegő előre meghatározott irányban áramoljon a szennyeződések keresztszennyeződésének elkerülése érdekében.
Ezek az eszközök együttesen biztosítják, hogy a mikroelektronikai tisztatér levegőminősége elérje az előírt tisztasági osztályt.
A mikroelektronikai tisztatéri tervezés legfontosabb lépései és műszaki pontjai:
1. Tervezési tervezés: a gyártási folyamatnak és követelményeknek megfelelően határozza meg a tisztatér osztályát, területét, elrendezését stb. Ezzel egyidejűleg a személyzet, az anyagok és berendezések áramlási útvonalát, valamint a légtisztítás, légkondicionálás tervezését és a világítási rendszereket is figyelembe kell venni.
2. Épületszerkezet: jó tömítő- és hőszigetelő képességgel kell rendelkeznie, hogy csökkentse a külső környezet belső térre gyakorolt hatását. Ugyanakkor olyan anyagokat kell használni, amelyekből nem könnyű por és statikus elektromosság keletkezni, például rozsdamentes acél és alumíniumötvözet.
3. Levegőtisztító rendszer: a mikroelektronikai tisztatéri mérnöki munka alapvető része. Általában nagy hatékonyságú szűrőket, ventilátorokat, légcsatornákat és egyéb eszközöket használnak a por, baktériumok, vírusok és egyéb szennyeződések eltávolítására a beltéri levegőből, hogy a levegő elérjen egy bizonyos tisztasági szintet.
4. Légkondicionáló rendszer: képesnek kell lennie a beltéri hőmérséklet, páratartalom és nyomáskülönbség szabályozására, hogy megfeleljen a gyártási folyamat követelményeinek. Ugyanakkor az üzemeltetési költségek csökkentése érdekében energiatakarékos és környezetbarát légkondicionáló berendezéseket és technológiát kell alkalmazni.
5. Elektrosztatikus szabályozás: a mikroelektronika gyártási folyamata hajlamos statikus elektromosság előállítására, ami befolyásolja a termék minőségét. Ezért szükséges a statikus elektromosság megszüntetésére szolgáló intézkedések megtétele, például statikus eltávolítók alkalmazása, antisztatikus padlók lerakása stb.
6. Zajvédelem: A zaj befolyásolná a munkavégzés hatékonyságát és a személyzet egészségi állapotát, ezért zajcsökkentő intézkedéseket kell tenni, mint például hangszigetelő anyagok használata, hangtompítók felszerelése stb.
7. Világítási rendszer: elegendő fényerőt és egyenletességet kell biztosítania ahhoz, hogy megfeleljen a gyártási folyamat követelményeinek. Ugyanakkor energiatakarékos és környezetbarát világítási berendezéseket és technológiákat kell alkalmazni az üzemeltetési költségek csökkentése érdekében.
8. Személy- és anyaggazdálkodás: a személyzet és az anyagok be- és kilépését szigorúan kezelni és ellenőrizni kell a külső szennyező anyagok bejutásának csökkentése érdekében. Ugyanakkor a személyzetet ki kell képezni tisztasági tudatosságuk és működési készségeik fejlesztésére.
9. Teszt és ellenőrzés: a tisztatér megépítése után vizsgálatot és ellenőrzést kell végezni annak biztosítására, hogy a tisztatér teljesítménye megfeleljen a tervezési követelményeknek, beleértve a levegő tisztaságát, hőmérsékletét, páratartalmát, nyomáskülönbségét, statikus elektromosságát stb.
Összefoglalva, a mikroelektronikai tisztatéri tervezés összetett rendszer, amely több tényezőt igényel. Csak a fejlett technológia és berendezések átvételével építhető a követelményeknek megfelelő tisztatér.
Népszerű tags: mikroelektronikai tisztatér, Kína mikroelektronikai tisztatér beszállítói, gyártói, gyárai, Tiszta szoba vegyszerek, Tiszta szoba háztartási termékek gyártása, Tiszta szoba félvezető tiszta szobák, Tiszta szoba standard környezet, Tiszta szoba fenntartható környezet, tiszta szoba rendszerek
